EBSD（電子背散射衍射）分析是一種基於電子背散射衍射現象的材料科學分析技術，它利用高能電子束掃描材料表面，通過分析電子束與晶體原子相互作用產生的散射信號，獲得材料的晶體學信息，包括晶體取向、晶界取向差、物相鑑別以及局部晶體完整性等。
EBSD系統通常包括掃描電子顯微鏡和一套EBSD探測系統，後者可能包括靈敏的CCD攝像頭和圖像處理軟體。在掃描電子顯微鏡下，入射電子束與樣品相互作用，在每個晶體或晶粒內產生規則排列的晶格面上發生衍射現象，形成衍射花樣。這些花樣攜帶了晶體的晶系對稱性信息，以及晶面和晶帶軸之間的夾角，這些信息對於EBSD相鑑定和取向分析至關重要。
EBSD分析可以提供微觀組織分析，如晶粒尺寸、均勻性、孿晶體積分數、再結晶晶粒以及亞晶、晶界特性分析、相鑑定和相分布等。此外，它還能進行取向分析，包括相鄰晶粒的取向分析、晶粒和相鄰孿晶的取向分析、孿晶以及相鄰孿晶的取向分析、織構分析和取向差分析等。
EBSD技術在材料科學領域有著廣泛的套用，例如在失效分析中幫助理解材料的失效機制，通過提供微觀組織特徵如相分布、晶界類型和裂紋擴展路徑等信息。在蠕變鎳基合金的研究中，EBSD用於研究合金在蠕變條件下微觀組織和損傷的變化。
總的來說，EBSD是一種強大的工具，能夠提供關於材料微觀結構和晶體學信息的詳細數據，對於理解材料的性能、失效機制以及最佳化材料設計具有重要意義。