能量色散譜儀分析
EDS（Energy Dispersive Spectrometer）分析，即能量色散譜儀分析，主要用於材料微區成分元素的種類和含量分析。
EDS分析通常與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）聯合使用，通過在真空環境下用電子束轟擊樣品表面，激發樣品發射出特徵X射線。這些特徵X射線的波長或能量可用於定性和半定量分析樣品表面微區中的元素，EDS分析可以提供點、線、面三種分析方式。
點分析是固定電子束在樣品特定點上進行定性或定量分析，適用於顯微結構的成分分析；線分析沿著預定的路徑掃描樣品，顯示元素含量變化的線分布；面分析則對整個指定面內的元素進行定性或半定量分析，測量的是元素含量的平均值。EDS分析的檢測極限一般為0.1%至0.5%，相對精度通常在1%到5%之間。