EDS圖譜，即能量散射譜（Energy Dispersive Spectrometer），主要用於分析樣品中的元素成分和含量。以下是EDS圖譜的查看方法：
EDS圖譜的橫座標代表激發元素的加速電壓，縱座標則是能譜儀收集的反射粒子數。
EDS圖譜中的每個峯代表一種元素。通過分析這些峯，可以確定樣品中存在的元素，以及它們的相對含量。
EDS圖譜的分析可以是定性的，也可以是定量的，這取決於樣品的複雜程度和所需的分析深度。簡單的譜圖可能只有幾個峯，且峯之間沒有疊加，這樣的譜圖較容易自動識別。然而，複雜的譜圖可能有更多的峯，且峯之間可能相互疊加，這可能導致自動識別出現錯誤。在這種情況下，分析人員可能需要手動調整能峯，去除不需要的峯。
EDS分析還可以通過點掃描、線掃描和麪掃描進行。點掃描固定電子束在樣品上的某一點，進行微區元素分析，常用於顯微結構的成分分析。線掃描則是電子束沿一條線掃描樣品，得到元素含量變化的線分佈曲線，有助於分析樣品結構上的差異。面掃描則是在樣品表面進行掃描，通過屏幕上元素的亮度或顏色表現來分析元素分佈，常用於成分偏聚和相分佈的研究。
總的來說，EDS圖譜的分析需要結合樣品的特性、譜圖的複雜性以及所需的分析類型來綜合判斷。