ICP操作方法主要包括以下步驟：
打開氬氣增壓閥門，調節氣體壓力至0.6-0.8Mpa。
連線冷卻循環水機電源並打開循環水開關，檢查進出水壓力。
打開ICP主機電源，進行自檢預熱。
打開抽風機和空氣壓縮機。
使用ICP專用瓶裝超純水約1升，放入濾頭；同時，用一燒杯裝滿超純水後放入進樣針，確保燒杯乾淨。
連線進出水泵管，調整位置對準凹槽後固定。
打開電腦並啟動工作站WIN32。
點擊圖示「電漿」，出現ICP控制視窗，點擊「ON」啟動儀器，等待1-2分鐘，確保儀器正常啟動。
檢查泵管是否運行正常，觀察火炬是否穩定，兩者均正常後可進行下一步。
點擊軟體上儀器模組「電漿控制」，將電漿點燃進行預熱，此時可將進樣管放置在2%的硝酸或水溶液中對系統進行清洗。
電漿點燃後，點開攝像頭查看電漿狀態，點擊光學初始化及診斷視窗，將進樣管放置在水溶液中，對系統進行光學初始化。
待光學初始化結束後，關閉診斷視窗和初始化視窗，點開分析模組，打開需要使用的方法，定義樣品信息。
開始測試前，新建一個數據檔案以保存測量結果。進行校準空白分析，然後將進樣管放置在校準點溶液中，進行校準點分析。
對樣品進行測試，注意樣品之間用2%的硝酸進行管路清洗。測試完畢後，用2%的硝酸清洗進樣管三到五分鐘。
關閉所有視窗，進入電漿控制視窗，關閉電漿。點擊「flush」按鈕排空殘留在霧室及泵管中的溶液，然後點擊「Pump」按鈕關閉泵。注意關閉電漿後繼續供應氬氣以保護儀器。