離心力或螺桿旋轉
乾式真空泵是一種高效、清潔、低噪音的機械泵，其工作原理主要基於離心力或螺桿旋轉。乾式真空泵無需油潤滑或水，因此不會因油膜污染而影響真空質量。
無油乾式機械真空泵能從大氣壓力下開始抽氣，且將抽出的氣體直接排回大氣，其泵腔內無油或其他工作介質。這類泵的極限壓力與油封式真空泵處於同等量級或非常接近。它們適用於處理含有腐蝕性氣體和研磨微粒的工藝，如半導體工藝中，防止微粒混入泵油，確保工藝的純淨性。
乾式螺桿真空泵利用兩個螺桿葉輪（一為主動軸，一為被動軸）的相對旋轉來抽出氣體。主動軸通過電機驅動，被動軸與主動軸交錯裝配在泵內，形成相互嚙合的狀態。當主動軸旋轉時，被動軸也開始相對旋轉，吸入並壓縮空氣，最終從壓縮室排出。這種泵利用齒輪傳動實現同步反向旋轉的螺桿，通過泵殼內的螺旋槽分割成多個空間，形成多個級，氣體在這些相等的槽內傳輸運動，無壓縮作用，只在螺桿最末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用，從而形成真空。