製程是一種特定的半導體制造工藝及其設計規則。
製程的先進與否直接影響晶體管的大小、速度和能耗表現。一般來說，製程節點越小，晶體管越小，速度越快，能耗表現越好。在晶體管結構中，製程工藝中的納米技術指的是單個晶體管的柵極長度，即柵長，這個參數的減小可以提高晶體管的性能。
製程工藝的發展趨勢是提高電路與電路之間的密度，即在同樣大小的面積內設計更高密度、更復雜功能的電路。這種高密度的設計可以提升處理器的性能，同時減少能耗和熱量產生。
此外，隨着製程技術的進步，電路與電路之間的距離減小，可能會出現量子隧穿效應，這是一種電子以不可控的方式運動的現象，可能會導致半導體漏電率增加。