一種高分辨率的顯微鏡
掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，簡稱SEM）是一種高分辨率的顯微鏡，它利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，通過電子束與樣品相互作用產生的各種物理信號（如二次電子、反射電子、吸收電子、X射線等）來獲取樣品的表面形貌和組成信息。這些信號被探測器接收並轉換成電信號，然後在計算機上生成圖像。
SEM的分辨率非常高，新式的儀器甚至可以達到1nm，放大倍數可以達到30萬倍以上，且景深大，視野廣，成像立體效果好。SEM不僅用於觀察物質的微觀形貌，還可以與其他分析儀器結合，進行物質微區的成分分析。
SEM的工作原理是通過電子槍發射聚焦的電子束，然後通過電磁線圈的控制，電子束會在樣品表面進行逐點掃描，激發出各種物理信號。這些被反射的電子或二次電子最終會被對準陰極射線電視屏幕，形成被掃描物體的圖像。
SEM在多箇領域都有廣泛應用，包括材料科學、生物學、醫學、地質學等，成爲現代科學研究的重要工具之一。