平晶乾涉法是一種利用光的乾涉現象來測量平面度誤差的方法。這種方法通常涉及以下步驟：
選擇合適的平晶：平晶可以是平面平晶或平行平晶。平面平晶用於測量高光潔表面的平面度誤差，而平行平晶則用於測量兩高光潔表面的平行度誤差。平晶通常由光學玻璃或石英玻璃製造，其光學測量平面的平面度誤差有嚴格的標準。
測量過程：在測量時，將平晶放置在被測表面上，並形成一個很小的楔角θ。然後，使用單色光源照射，這樣會產生乾涉條紋。乾涉條紋的位置與光線的入射角有關，如果入射光線垂直於被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小，則會在測量面P處發生乾涉，出現明暗相間的條紋。
分析乾涉條紋：乾涉條紋的彎曲程度和分布情況可以反映被測表面的平面度。如果幹涉條紋平直、相互平行且分布均勻，這通常表示被測表面的平面度較好；相反，如果幹涉條紋彎曲，則表明平面度較差。
計算平面度誤差：通過測量乾涉條紋的彎曲量並計算，可以得出被測樣品的平面度誤差。
綜上所述，平晶乾涉法是一種利用光的乾涉原理來測量平面度誤差的精密測量方法。