真空回火是一種熱處理工藝，其主要作用包括：
消除內部應力。提高材料的延展性和塑性，通過控制加熱和冷卻速度，促進材料中的相變，從而獲得更好的強度、硬度和韌性等力學性能。
改善材料的晶粒結構和表面質量。提高材料的耐磨性和耐腐蝕性，同時控制加熱和冷卻速度，可以改善材料的晶體結構，獲得更均勻的材料性能。
提高材料的穩定性和可靠性。通過精細處理，控制加熱、冷卻和保溫過程，可以改善材料的抗拉強度、壓縮強度和耐久性等多個方面的性能。
保持已通過淬火處理後的金屬部件的優勢。如不氧化、不脫碳、表面光亮、無腐蝕污染等，並消除淬火應力，穩定組織。
降低脆性。提高韌性，特別對於不再進行精加工並須進行多次高溫回火的精密工具更加重要。
綜上所述，真空回火通過其獨特的處理環境和技術，能夠顯著提升材料的力學性能、耐久性、穩定性，同時保持材料表面的光亮和清潔，非常適合於對材料表面和內部質量有高要求的工業領域。