SEM-EDX分析是一種結合了掃描電子顯微鏡（SEM）和能量色散X射線光譜（EDX）技術的分析方法，主要用於材料的微觀形貌觀測和成分分析。在SEM中，電子束掃描樣品表面，產生元素特徵X射線，EDX技術通過分析這些X射線的波長和強度來確定樣品的元素組成和含量。這種技術可以在微米級別上對樣品進行成分分析，適用於從流程控制、質量控制到故障分析等多個領域的研究。
EDX（也稱為EDS分析）是一種強大的微米級化學成分研究技術，通過結合掃描電鏡（SEM），它能夠從用電子束掃描樣品時發射的X射線中獲得組分信息。EDX分析技術可以檢測的元素範圍幾乎涵蓋了整個周期表，為一系列套用提供至關重要的數據。因此，幾乎每個SEM都配備了EDX系統。
採用ChemiSEM技術的SEM-EDX分析可以提供更快速、更便捷的數據獲取方式。ChemiSEM技術集成了先進的元素分析與實時電子圖像，在一個軟體界面內，用戶可以查看樣品圖像、不同化學成分的區域、點和區域的成分分析，以及繪製整個樣品的成分變化圖和元素或相分布圖。這種技術徹底改變了EDX分析，可以更快、更輕鬆地提供元素信息，且元素信息完全集成在SEM的用戶界面中，以彩色顯示，大大縮短了用戶獲得結果的時間，同時提供了更完整的信息和更可靠的結果。