什麼是刻蝕

刻蝕，也稱爲蝕刻，是一種通過化學反應或物理撞擊作用移除材料的技術。

刻蝕技術在微製造工藝中佔有重要位置，它可以被理解爲光刻腐蝕過程，即先通過光刻技術對光刻膠進行處理，然後通過化學或物理方法去除特定部分的材料，以在硅片或其他材料上形成精確的圖案或形狀。刻蝕可以分爲溼法刻蝕和幹法刻蝕兩大類，溼法刻蝕使用液體化學試劑進行選擇性去除，而幹法刻蝕則涉及使用等離子體技術進行材料的物理或化學去除。

刻蝕在微電子學、納米技術、MEMS等領域中有着廣泛的應用，它對於製造小型化、高精度的設備組件至關重要。