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什麼是晶圓鍵合

半導體制造技術

晶圓鍵合是一種半導體制造技術,用於將兩塊或多塊晶圓緊密連接在一起。

這項技術通過化學和物理作用實現晶片的結合,使得接合界面達到特定的鍵合強度。晶圓鍵合在MEMS(微機電系統)、CMOS(圖像傳感器)、DRAM(動態隨機存取內存)和NAND(計算機閃存)等領域有着廣泛的應用。

晶圓鍵合可以分爲永久鍵合和臨時鍵合,以及帶中間層的膠鍵合、共晶鍵合、金屬熱壓鍵和無中間層的熔融鍵合(fusion bonding)和陽極鍵合等不同的類型。這些方法利用了包括範德華力、壓力、溫度或電場等不同的物理原理來實現鍵合的目的。

總的來說,晶圓鍵合是半導體行業中的關鍵技術之一,對於提高器件性能和功能、降低系統功耗、尺寸與製造成本具有重要意義。