微機電系統
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）即微機電系統，是一種先進的製造技術平台，它結合了微電子技術和機械加工技術，在微型器件中集成微型感測器、微型執行器、信號處理和控制電路、接口、通信和電源等。
MEMS技術的核心在於其能夠製造微米甚至納米量級的微型機械器件，這些器件通常尺寸在幾毫米乃至更小，但內部結構卻在微米或納米量級，MEMS技術涉及光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等多種先進製造技術。MEMS的套用非常廣泛，包括智慧型系統、消費電子、可穿戴設備、智慧型家居、系統生物技術的合成生物學與微流控技術等領域，常見的產品有MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力感測器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度感測器等。
此外，MEMS技術的發展也促進了與其他領域的交叉融合，如與生物醫學的結合在醫療診斷、藥物輸送系統等方面展現出巨大潛力。