光罩尺寸

光罩的尺寸可以有多 種 規格，常 見的有1100mm×1100mm到406.4mmx457.2mm。在1:1光刻的 時代，光罩的尺寸同晶 圓尺寸一 樣，有6寸和8寸的大小。 當倍 縮投影光刻的 時代到 來，光罩的尺寸又 從5寸 變成了一 塊6英寸 見方，0.25英寸厚薄的 鉻板光罩，也就是我 們口中的6025光罩。