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液封直拉法

液封直拉法(liquid-encapsulated Czochralski method),簡稱LEC法,是一種製備化合物半導體單晶的方法,主要用於生長熔體組分易揮發的化合物材料。這種方法的特點是在晶體生長過程中,熔體表面有一層覆蓋劑,晶體是從被覆蓋劑包裹的熔體中拉制出來。覆蓋劑通常是一種密度小於熔體密度、熔點低於晶體熔點、在熔點附近蒸氣壓低、透明、純度高的液體,對熔體、坩堝、氣氛呈化學惰性,不起反應也不互溶。

液封直拉法的優點包括:可以生長各種晶向的大直徑、長尺寸、高離解壓的化合物晶體材料,適合規模生產;可以方便地重複開啟密封直拉單晶爐,簡化了裝料取晶工序;液封劑包封熔體,可抑制熔體組分揮發和防止矽沾污,從而保證熔體純度和熔體組分的可控性、穩定性。

液封直拉技術在薄膜製造中的套用存在一定的局限性。例如,薄膜的厚度相對較薄,封閉劑注入後容易發生滲漏現象,導致製品質量下降。薄膜的成型需要非常高的精度和均勻性,而液封直拉技術的成型精度受到許多外部因素的影響。

總的來說,液封直拉法是一種重要的晶體生長技術,廣泛套用於半導體材料的製備中。