真空流量是指在真空系統中流動的氣體的體積或質量每秒的流量，通常用單位時間內通過一個截面積的氣體體積或質量來表示。它是衡量真空系統性能和穩定性的重要參數，對於氣體輸送、真空泵的選擇和使用以及反應室壓力的穩定控制都有重要意義。真空流量的測量方法包括直接質量法、體積流量法和差壓法。直接質量法利用質量流量計實現對真空流量的直接測量，適用於對高流速氣體的精密測量，並且可以同時測量多種氣體。體積流量法通過測量單位時間內通過截面積的氣體體積來計算真空流量，常用的測量方法有轉子流量計、渦輪流量計、翼片流量計等。差壓法通過測量由於流動阻力造成的壓差來計算真空流量，常用於低真空下的流量測量。
在真空泵的性能參數中，最重要的就是流量指標，其單位通常為L/S（升/秒）或M3/H（立方米/小時）。真空泵流量的值反映了真空泵的抽氣能力和性能，也影響著真空度和加工質量。計算真空發生器流量的公式是Q=P×S×3600÷V，其中Q表示氣體流量（單位為m³/h），P表示真空度（單位為Pa），S表示節流孔截面積（單位為m²），3600表示一個小時的秒數，V表示氣體的摩爾體積（單位為m³/mol）。計算真空泵流量的公式為Q=V*t/60，其中Q為流量（單位為m³/h），V為真空泵排氣室體積（單位為m³），t為每分鐘排氣時間（單位為s/分鐘）。