磷酸三乙酯是一種多功能的化學物質，具體套用包括：
作為增塑劑。用於橡膠和塑膠行業，以提高其柔韌性和可塑性。
作為溶劑。用於硝酸纖維素、乙酸纖維素以及在塗料、油墨、染料和纖維製造中，幫助溶解其他物質並保持其性能。
作為穩定劑。套用於氯系殺蟲劑、酚醛樹脂和糖醇樹脂等，以增強其穩定性和耐久性。
作為催化劑。在二甲苯異構化、烯烴聚合、製造碳化二亞胺等多個化學反應中使用，以促進反應的進行。
作為阻燃劑。減少可燃材料的燃燒速度和火焰蔓延，用於提高材料的安全性。
其他用途。包括作為抗氧化劑、防老劑、流動控製劑等，以提高材料的耐熱性、機械性能和表面質量。
此外，在日本，約70%的磷酸三乙酯用於催化劑，約20%用作溶劑。