空程差，也被稱為回程差，是由於機械裝置的間隙造成的誤差。具體來說，空程差是由於動力齒（通常與讀數機構的標尺相連）在單向移動時，由於齒輪結構（或螺紋）中存在的間隙，導致動力齒出現一點空轉，從而引起讀數變化，但實際儀器測量狀態並未改變。例如，在顯微鏡內，由於相對運動的機械部件之間的間隙是必然存在的，所以在反覆的動作（例如旋鈕的順時針旋轉和逆時針旋轉）過程中產生空程是必然的。此外，空程誤差也可能是由於螺距差引起的測量誤差，如在使用麥可孫乾涉儀時，轉動微動手輪時，粗動手輪隨之轉動；但在轉動粗動手輪時，微動手輪並不隨之轉動，可能存在讀數不匹配問題。