道士進行法事的流程通常包括以下步驟：
準備階段。選擇合適的日期和地點，如寺廟、道觀或家中神龕，準備供品（如鮮花、水果、糕點、米飯、酒水）和祭祀器具（如香爐、香燭、神龕、神像）。
開場儀式。點燃香燭，念經禱告，表達對神靈的尊敬和祈禱的心願，進行祝福儀式，向神靈祈求保佑和平安。
祭祀儀式。上供，將供品擺放在神龕或神位前，獻香，將點燃的香燭插在香爐中，獻給神靈，禱告，為信徒禱告，向神靈祈求保佑和滿足心願，祭奠，在特定的時間點，將供品中的一部分放在神靈面前，表示祭奠祖先和逝去的親人，敬酒，將酒水等供品倒入杯中，行敬酒儀式，向神靈敬酒，表達對神靈的敬意和感恩之情。
結束儀式。感恩禱告，感謝神靈的保佑和恩賜，熄滅香燭，表示儀式的結束，分享供品，將供品分食給信徒或家人，表示與神靈共享祝福和恩典，清理儀式，將祭祀儀式中使用的器具進行清理和整理，存放到合適的位置。
此外，根據法事的目的和類型（如陽事道場或陰事道場），儀式可能包括開壇、取水、安水、盪穢、揚幡、掛榜、三清表、皇經、玉皇大表等具體活動。