鑽石碟是一種用於化學機械拋光（CMP）技術中的關鍵耗材，它的主要作用是修整拋光墊，以維持拋光墊表面的粗糙狀態和研磨性能。鑽石碟的基體通常是一箇直徑約爲100-108mm的圓盤，上面均勻分佈着數十萬顆微小的金剛石顆粒。這些金剛石顆粒在拋光過程中能夠切削和去除拋光墊表面的不均勻性、釉化層、堆積物等，從而實現拋光墊表面的平整和細微結構的調整。
鑽石碟的原材料主要是鑽石，也就是金剛石，這是一種由碳元素組成的單質晶體，具有高硬度、高折射率、耐磨性好和光澤度高等特點。鑽石碟在晶圓製造過程中應用較多，尤其在集成電路製造中不可或缺，它控制晶圓與拋光墊的接觸面積及其分佈，使拋光墊表面產生大小適中且分佈均勻的絨毛。
此外，鑽石碟的供應者中砂目前是全球主要的鑽石碟供應者之一，而臺積電及聯電等公司也在使用這種耗材。