靜電激勵器，也被稱為電場激勵裝置（Electrical Field Actuator，EFA），是一種利用靜電場能驅動內部或外部的致動器來產生或操控物體運動的一種微納器件。
靜電激勵器通常用於執行諸如三維移動、位置和角度控制等任務，適用於各種微納操作套用，如生物醫學、微裝配、微流體、納米製造等。其致動原理基於電場的作用，其中帶電的致動器（如微針、微懸臂、納米尺度的纖維等）可以在電場力的驅動下產生形變或運動，從而操控物體。
靜電激勵器具有許多潛在的套用，例如在微納製造和生物醫學領域中，可以實現高精度的操控和定位。其基本組成部分通常包括致動器、隔膜板（控制電場）、接地板（產生穩定的電場）以及控制電路。
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