面精度，也稱為反射面精度，是衡量精密拋光表面與理想平面之間偏差的數據。它通過最高點（峰）與最低點（谷）之間的差異，即PV值（Peak to Valley，峰值與谷值的差值）來表示。此外，面精度還可以通過RMS值（Root Mean Square，均方根值）來進一步描述，其中RMS值大約是PV值的1/3。
面精度的測量通常使用雷射乾涉儀，其光源為波長632.8納米的氦氖雷射器。面精度的單位是波長（λ）的分數，例如λ/4或λ/20，用於表示表面平整度的程度。例如，如果面精度表示為λ/10，則意味著在有效範圍內表面的最大高度差為63.2納米以內。
測量面精度的一種方法是使用乾涉法，通過觀察牛頓環來計算面精度。牛頓環是由光學平板與樣品之間的乾涉條紋形成的圓形圖案，通過分析這些條紋的間距和彎曲程度，可以計算出面精度的具體數值。
總結來說，面精度是評估光學元件表面質量的重要參數，它通過PV值和RMS值來量化表面的平整度，並使用雷射乾涉儀進行精確測量。