特殊材料
靶材是一類特殊材料，主要用於鍍膜工藝中，作為高速荷能粒子（如離子）轟擊的目標，從而在基板上形成各種功能薄膜。
靶材通常由「靶坯」和「背板」組成，其中靶坯是高純度的金屬、合金或陶瓷等材料，而背板則用於固定靶坯，並具備導熱導電性。靶材的套用非常廣泛，包括光電子、醫學、能源等多個領域。例如，在光電子領域，靶材可用於製備導電、反射、透射和濾波膜等；在醫學領域，靶材可作為放療離子源的核心材料；在能源領域，靶材則可用於鋰離子電池、燃料電池等的製造。此外，靶材還包括金屬靶材、氧化物靶材、合金靶材、氮化物靶材等不同類型的材料，以滿足不同套用需求。