ebsd是什麼

電子背散射衍射

EBSD（電子背散射衍射）是一種在掃描電子顯微鏡（SEM）中使用的技術。

EBSD技術通過探測電子背散射衍射花樣來分析樣品的微觀組織，確定晶體特徵信息，如晶體取向、晶界取向差和物相等。它能夠在保留掃描電子顯微鏡高解析度特點的同時，提供亞微米級的空間解析度數據，使研究人員能夠獲取豐富且精度高的晶體學信息。EBSD技術的套用非常廣泛，主要集中於多晶體材料，如工業金屬和合金、陶瓷、半導體等，用於研究材料的各種現象，如熱機械處理過程、塑性變形過程、與取向關係有關的性能等。