EDS（能量分散譜學，Energy Dispersive Spectroscopy）分析是一種用於材料微區成分元素種類與含量分析的技術。其分析原理具體如下：
當細聚焦的電子束入射到樣品表面時，它會激發樣品元素髮出特徵X射線。這些特徵X射線的波長（或能量）用於確定元素的種類，而特徵X射線的強度則用於確定元素的含量。
在電子束的轟擊下，樣品中的原子內層電子被擊出，外層電子躍遷填補空位時釋放能量，從而產生特徵X射線。特徵X射線的能量是特定的，取決於能級躍遷過程中釋放的特徵能量。
EDS系統收集這些特徵X射線，並通過能量分散譜學技術分析它們的能量和強度，從而實現對樣品中元素的定性和定量分析。