EDS（Energy Dispersive Spectroscopy）分析，也稱為EDX或XEDS，是一種強大的分析技術，主要用於材料科學和生物學等領域，能夠提供關於樣品元素組成的重要信息。EDS分析通常與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）結合使用，通過高能電子束激發樣品表面，從而產生特徵X射線。這些X射線的能量和強度與樣品中元素的種類和濃度密切相關。
在EDS系統中，X射線由X射線探測器測量並轉換成電荷脈衝，然後通過電子學系統進行放大和數位化處理，從而形成能譜。通過比較測得的X射線能譜與已知元素的標準能譜，可以確定樣品中存在的元素及其相對含量。
EDS分析可以套用於多種不同的分析方式，包括點分析、線掃描分析和面分布分析，以適應不同的研究需求。其中，點分析適用於對樣品特定點進行詳細分析，線掃描分析可以揭示元素含量沿特定路徑的變化，而面分布分析則用於顯示元素在樣品表面的分布。
此外，EDS分析還具有一些局限性，例如對輕元素（如氫和氦）的檢測能力有限，以及在定量分析時可能受到矩陣效應的影響。因此，EDS分析通常需要與其他技術（如電子探針顯微分析或俄歇電子能譜儀）結合使用，以獲得更全面的化學成分信息。