ESCA（電子光譜化學分析）是一種表面分析技術，它使用X射線作為激發光源，照射分子或固體表面，激發原子中的內層電子，使其電離成為光電子。這種分析方法可以分析樣品發射出的光電子能譜，從而了解物質的組成及離子價態。ESCA具有高靈敏度，適用於無損的表面分析，如識別污點或變色、清潔度表徵、粉末和碎片組成的分析、聚合物功能參數的識別和量化、潤滑劑厚度的測量、氧化層厚度的測量等。此外，ESCA還可以進行深度分析，如薄膜成分的深度剖析、矽氧氮化物厚度及成分分析等。X射線光電子能譜（XPS）是ESCA的一種形式，其測試深度約為50-70nm，檢測限約為0.01%。ESCA的主要套用領域包括有機材料、無機材料、污點、殘留物的表面分析，以及薄膜成分和厚度的測量等。
例如，有研究使用ESCA分析了氧脫木素樺木硫酸鹽漿在自氧漂白過程中的紙漿纖維表面特性變化。結果表明，在氧漂白期間，紙漿纖維的氧碳比逐漸增加，碳價態發生了顯著變化，這表明羰基和羧基含量的增加。因此，ESCA被認為是一種研究紙漿漂白過程中的有效手段。