微機電系統
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems），即微機電系統，是一種高科技裝置，其尺寸通常在幾毫米乃至更小，內部結構一般在微米甚至納米量級。
MEMS是一個獨立的智慧型系統，主要融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。它集成了微型感測器、執行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源等多種功能於一體。MEMS技術在多個領域都有套用，包括智慧型系統、消費電子、可穿戴設備、智慧型家居、系統生物技術的合成生物學與微流控技術等，常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS壓力感測器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度感測器等。
MEMS的發展基於微電子技術，涉及物理學、半導體、光學、電子工程、化學、材料工程、機械工程、醫學、信息工程及生物工程等多種學科和工程技術。