XPS（X射線光電子能譜）是一種重要的表面分析技術，主要用於表徵材料表面的元素及其化學狀態。
XPS可以提供除H和He以外所有元素的定性和半定量分析，包括元素的鑑定、定量分析、表面的化學組成或元素組成、原子價態、表面能態分布、分子結構等信息，甚至在分子生物學中的套用，如鑑定維生素B12中的少量Co。
此外，XPS還能測定固體表面的電子雲分布和能級結構，對內層電子結合能的化學位移進行精確測量，從而提供化學鍵和電荷分布方面的信息。由於其對樣品表面的破壞性非常小，XPS特別適用於分析有機材料和高分子材料。