臭氧的產生主要有自然產生和人工產生兩種方式。
在自然界中，大氣中的臭氧主要由光化學反應過程產生。具體來說，空氣中的氮氧化物(NOx)與揮發性有機物(VOCs)等前體物，在太陽光（紫外線）照射下，經過一系列複雜的光化學反應，產生臭氧污染物。此外，平流層中的氧氣在紫外線的作用下分解成氧原子，這些氧原子再與氧分子結合形成臭氧。在人爲環境下，臭氧的產生主要源於人類生產生活，例如汽車尾氣排放的氮氧化物光解形成的氧原子與氧氣結合生成臭氧。
此外，還有一些人工產生臭氧的方法，如紫外照射法、電解法、放射化學法和介質阻擋放電法等。紫外照射法是利用紫外線照射干燥的氧氣產生臭氧；電解法是通過電解水產生臭氧；放射化學法是利用放射源核輻射離解氧分子生成臭氧；介質阻擋放電法是通過交變高壓電場在氣體中產生電暈，電暈中的自由高能電子離解氧氣分子，經碰撞聚合爲臭氧分子。