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amb基板

AMB基板,即活性金屬釺焊基板,是一種在DBC(Direct Bonded Copper)技術基礎上發展起來的基板,主要用於將陶瓷與金屬封接。AMB工藝通過在釺料中加入活性元素,如TiZrHf等,這些活性元素能夠與陶瓷表面的氧、碳、氮或矽發生化學鍵合,形成反應層,從而提高釺料在陶瓷表面的潤濕性,實現陶瓷與金屬的直接釺焊封接。

AMB基板的主要優勢包括更高的熱導率、更好的銅層結合力、更小的熱阻和更高的可靠性。此外,AMB工藝的操作簡便、時間周期短、封接性能好,並且對陶瓷的適用範圍廣。AMB工藝流程包括在陶瓷板材表面塗覆活性金屬焊料,與無氧銅層裝夾,在真空釺焊爐中進行高溫焊接,然後刻蝕出圖形製作電路,最後對表面圖形進行化學鍍。

AMB陶瓷基板按材質分類,目前成熟套用的包括氧化鋁氮化鋁和氮化矽基板。氧化鋁陶瓷基板因其來源廣泛、成本低,是性價比最高的AMB陶瓷基板,工藝也最為成熟。但由於其熱導率低,散熱能力有限,多用於功率密度不高且對可靠性沒有嚴格要求的領域。氮化鋁和氮化矽陶瓷基板則多用於大功率IGBT模組等高要求領域。