ITO（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）是一種N型氧化物半導體，通常用於製造透明導電膜。ITO薄膜具有優異的透明度和導電性，以及良好的化學穩定性，因此在光伏電池、液晶顯示器、觸控螢幕、LED照明等領域有廣泛套用。
ITO材料是通過真空磁控濺射鍍膜工藝生產的，主要用於導電膜禁止玻璃的導電膜層，其電阻率通常在10-3～10-4 Ω·cm之間，透光率可達到85%以上。此外，ITO靶材是ITO薄膜生產的關鍵材料，通過磁控濺射技術將ITO靶材的氣化物質濺射沉積在玻璃基板或柔性有機薄膜上，形成具有特定厚度的ITO薄膜。
儘管ITO具有許多優點，但它也存在一些缺點，如對熱和機械應力敏感，容易退化和老化，成本相對較高，以及銦這種稀有金屬的供應限制。因此，正在開發ITO的替代材料，如氧化銦鋅（IZO），儘管其透明度和導電性略遜於ITO，但具有更高的抗氧化性能和穩定性。