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ito靶材是什麼

氧化銦錫靶材

ITO靶材,即氧化銦錫靶材,是一種在電子和光電子設備中廣泛套用的材料。

ITO靶材是由氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合後,經過一系列生產工藝加工成型,再經高溫氣氛燒結形成的黑灰色陶瓷半導體。這種材料能在保持高透明度的同時提供良好的電導性,使其成為製備透明導電薄膜的理想選擇。ITO靶材主要用於物理氣相沉積PVD)過程中的薄膜沉積技術,特別是在液晶顯示器LCD)、有機發光二極體OLED)顯示面板、太陽能電池等套用中發揮著關鍵作用。ITO靶材在高溫氣氛燒結過程中形成,具有高度的折射率和透明性,適用於要求透明導電性能的套用。