三因素分析法是一種用於分析固定製造費用成本差異的方法，它包括以下三個部分：
固定製造費用耗費差異：這部分分析固定製造費用的實際發生與預算之間的差異。
固定製造費用效率差異：這部分分析實際工時與標準工時之間的差異，反映生產效率的高低。
固定製造費用閒置能量差異：這部分進一步將能量差異分解為兩部分，一部分是實際工時未達到預算工時而形成的閒置能量差異，另一部分是實際工時脫離標準工時而形成的效率差異。這部分差異說明企業生產能力利用程度和生產效率高低所導致的成本差異情況。
三因素分析法的計算公式如下：
固定製造費用預算差異 = 固定製造費用實際數 - 固定製造費用預算
固定製造費用能力差異 = (計劃產量標準工時 - 實際產量實際工時) × (固定製造費用標準分配率)
固定製造費用效率差異 = (實際產量實際工時 - 實際產量標準工時) × (固定製造費用標準分配率)
計算結果正數為超支，負數為節約。採用三因素分析法能夠更好地說明生產能力利用程度和生產效率高低所導致的成本差異情況，並且有利於分清責任：能力差異的責任一般在於管理部門，效率差異的責任則往往在於生產部門。
此外，三因素分析法也源自傳統的杜邦分析體系，其核心思想是將企業的淨資產收益率的變動歸因於銷售淨利率、資產周轉效率和財務槓桿等三方面的變動，進而剝離出三項因素分別對淨資產收益率的影響。