三氯 氫 矽，化 學式 為SiHCl3，是一 種 無色的液 體，具有刺激性 氣味，易燃且易爆。
三氯 氫 矽在空 氣中能迅速水解， 產生白色的氯化 矽 沉澱， 該化合物在化 學工 業中具有 廣泛的 套用，主要 用於 製備高 純度 矽、有 機 矽化合物等，其 別 稱 包括 矽氯仿、三氯 矽烷。它的相 對分子 質量 為135.45，在CAS( 國 際化 學文摘 雜誌)中的 編 號 為10025-78-2。三氯 氫 矽的分子由78.52%的氯(Cl)、0.74%的 氫(H)和20.73%的 矽(Si) 組成。