光刻機，也稱為Lithography Machine，是一種用於製造微電子晶片、半導體器件和其他微納米加工工藝的關鍵設備。
光刻機的工作原理是使用光源和掩膜將光聚焦到感光材料上，具體來說，光線通過掩膜並聚焦在感光材料上，形成微小圖案。這些圖案然後通過化學處理方法固定在晶片表面。光刻機在積體電路、平板顯示器、光子學和微機械系統等領域發揮著重要作用。光刻機可以分為兩種主要類型：紫外光刻機和電子束刻蝕機。紫外光刻機使用紫外線作為光源，而電子束刻蝕機則使用電子束進行圖案製造。光刻機不僅在微電子製造中不可或缺，還廣泛套用於手機、電腦、電視、汽車和醫療設備等各種設備的製造。