什麼是鑽石碟

鑽石碟是一種在化學機械拋光（CMP）過程中使用的工具，它主要由一箇直徑約爲100-108mm的圓盤構成，這個圓盤上均勻分佈了數十萬顆微小的金剛石顆粒。這些金剛石顆粒在拋光過程中發揮重要作用，能夠切削和去除拋光墊表面的不均勻性、釉化層、堆積物等，以此實現拋光墊表面的平整和細微結構的調整。