什麼是鳥嘴效應

鳥嘴效應（bird's beak）是LOCOS工藝中一個特定的現象。在LOCOS工藝中，由於氧在二氧化矽中的擴散是一個等向性過程，因此，氧也會通過氮化矽下面的襯墊二氧化矽層進行橫向擴散，導致靠近刻蝕視窗的氮化矽層底下生長出二氧化矽。這種現象導致氧化物生長抬高氮化物的邊緣，因為氧化層消耗的矽更厚，所以在氮化物掩膜下的氧化物生長將抬高氮化物的邊緣。這就是所謂的鳥嘴效應。