「以至」和「以致」雖然都是連詞，但它們的用法和含義有明顯的區別。以下是兩者的具體區別：
「以至」通常用來表示時間、數量、程度或範圍的延伸和發展，例如從小到大、從少到多、從淺到深。它也可以表示某種情況或結果的深度，如「他太專注於工作，以至沒有注意到有人向他打招呼」。在某些情況下，「以至」可以表示「甚至」的意思，用於強調某種情況或結果的程度。
「以致」則用來表示由於某種原因而造成的結果，這種結果通常是不良的或不符合願望的。例如，「事前沒有充分調查研究，以致作出了錯誤的結論」。它用於連線分句，特別是在後半句的開頭，強調原因和結果之間的關係。
總結來說，「以至」主要用於表示事物的延伸和發展，而「以致」則用於表達由於某種原因造成的結果，特別是負面或不受歡迎的結果。