關 鍵尺寸
光刻CD，即 關 鍵尺寸（Critical Dimension），是指在 積體電路光掩 模製造及光刻工 藝中 為 評估及 控制工 藝的 圖形 處理精度而特 設 計的一 種 專用 線 條 圖形，它反映了 積體電路 特徵 線 條的 寬度。CD 特徵值是光刻系 統能 夠放大的最小精度，也就是光 學系 統的 解析度。CD 數值越小， 代表 解析度越高，例如 現在所 說的5nm、3nm 製程就是指 這 個 參 數。在光刻 過程中， 為了 製造具有更小 特徵尺寸的 積體電路，需要降低瑞利常 數和曝光波 長，增大孔 徑尺寸。