外差乾涉是一種乾涉測量方法，其核心在於通過改變參考信號的頻率，產生一個頻率差，使得參考信號與測量信號之間產生乾涉。這種乾涉信號的相位中包含了相位調製項（載波）與被測量項的信息。通過對乾涉信號進行解調，可以得到被測量的相位信息。與零差法相比，外差法通過乾涉信號解調測得被測物理量，可以忽略乾涉信號強度變化對測量的影響，從而提高幹涉測量的精度。
外差乾涉儀的優點包括：
由於物體變化所產生的都卜勒頻移信息是載於穩定的差頻上，且其頻率較高（幾兆至100兆赫），因此可以避免雷射器的低頻噪聲和半導體器件的1/f噪聲區。利用頻率跟蹤等外差解調技術，可以大量濾除寬頻噪聲，提高光電信號的信噪比。
在光強衰減90%的情況下仍能正常工作，適用於生產現場，並能測量較長距離（大於60米）。
可以直接從輸出頻率相對於差頻的增減判別運動的方向，適合測量物體的連續變化過程，如隨機振動波形、氣流擾動隨時間變化過程等。
外差乾涉儀的套用領域包括測速、測長、測角、測振、測表面光潔度、測雷射束通過湍流時光束的擾動、提高望遠鏡的視軸瞄準精度以及作自適應光學中的鑒相器等，獲得了比零差乾涉儀更高的精度。