富氧膜制氧的原理主要依賴於高分子富氧膜的特性，這種膜能夠使空氣中的氧分子優先通過。具體來說，富氧膜技術利用空氣中不同組分氣體通過膜的滲透速率不同，在壓力差的驅動下，氧分子會優先通過膜，從而得到富含氧氣的空氣流。
這個過程通常涉及以下幾個步驟：
空氣進入壓縮機，被加壓到一定壓力。
壓縮後的空氣通過膜組件，這是富氧膜制氧機的核心部分，其中富氧膜發揮作用，分離出氧氣和氮氣等組分。
氧氣通過特定的管道排出供用戶使用，而氮氣等其他組分則通過另一條管道排放。
整個過程由控制系統精確控制，以確保制氧機的穩定性和高效性。
通過這種方式，富氧膜制氧機能夠集中濃縮空氣中的氧氣，提供給使用者濃度較高的氧氣。例如，一些家用制氧機每分鐘能產出30%濃度的氧氣，這比普通空氣中21%的氧濃度要高。