尺寸分析方法主要分為兩大類：金相顯微鏡法和X射線衍射法。以下是這兩種方法的詳細介紹：
金相顯微鏡法。通常只適用於晶粒比較大（亞微米、微米級）的樣品分析。
X射線衍射法。它是分析晶粒尺寸的最常用方法。XRD能夠分析約1nm至100nm的晶粒，這些晶粒尺寸可以引起衍射線的寬化。通過測量衍射峰的半高寬（β），並結合X射線的波長（λ）和衍射角（θ），可以利用Scherrer公式計算出晶粒尺寸。在實際操作中，為了精確計算晶粒尺寸，需要扣除儀器寬化和應力寬化的影響。
此外，還有掃描電鏡法和透射電鏡法，但它們分別主要用於分析顆粒尺寸和晶粒尺寸，且在套用上存在一些限制。