平面磨削加工的精度受多種因素影響，包括平面度、垂直度、光潔度等，這些因素共同決定了加工的精確性和工件的質量。以下是詳細介紹：
平面度。這是指工件表面與加工平面的偏差程度，精密平面磨床的平面度精度一般要求在0.1到0.5微米（μm）以內，而對於極高精度的工件，平面度精度可以達到0.01到0.05μm。
垂直度。指加工平面法線與工具機基準面的偏差程度，其精度要求通常在0.005到0.01μm以內，但在高精度磨削中，垂直度精度可達到0.001μm以內。
光潔度。指工件表面的光滑程度，一般光潔度精度要求在Ra0.1到0.2μm，而在高精度磨削中，光潔度精度可以提高到Ra0.01μm以內。
此外，平面磨床的精度一般在0.002mm到0.01mm之間，具體精度會根據磨床型號和加工要求而有所不同。例如，普通磨床對於小零件的加工精度約為±0.002mm，而加工中等或較大零件時，精度要求會相應提高。