慢走絲加工的原理是利用電火花放電來逐漸去除金屬工件上的物質。
在慢走絲加工過程中，帶電的金屬絲作爲電極，與工件之間保持一定的間隙。當金屬絲接近工件表面時，電極上的電子形成電場，加速絕緣液體中的離子撞擊工件表面，產生電火花。電火花的作用使金屬工件表層的金屬原子發生離子化反應，產生的活性原子和離子在電場力作用下向電極運動，並在切割液的衝擊下，金屬碎屑和熱量被迅速排出，實現高精度、高質量的加工。
此外，慢走絲加工還涉及到脈衝電源產生的脈衝電壓，該電壓在工件和電極絲之間形成放電通道，產生高溫，使金屬局部融化或汽化，從而達到切割或成型的目的。