法姓的起源較為複雜，主要包括以下幾種來源：
出自媯姓田氏。戰國時期，齊國君主齊襄王（田姓）後裔所改。齊襄王本名法章，秦國滅齊後，其子孫為避免仇殺，不敢使用田姓，轉而以祖名「法」為姓。這是法姓的由來之一。
回族中的法姓。來源於先祖名字的漢化音譯。比如，阿拉伯歷史上著名的阿巴斯王朝第二任哈里發滿蘇爾（曼蘇爾，Abu al-Ja『far）的漢義是「勝利者」，其後代中有的採用了「法」作為姓氏。
蒙古族伍堯氏改姓。清朝時期，蒙古族伍堯姓的一支來到中原，為適應漢族習慣，取「法」字為姓，如清朝乾隆時期的文學家法式善，其祖先就是由蒙古來到中原的伍堯氏。
源於契丹族。出自遼國時期官吏法物庫，屬於以官職稱謂為氏。
春秋時期已有法姓。相傳，遠古時期的一個部落首領姓法，其子孫便以此為氏，形成了法姓的始祖。