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漏矽的原因

漏矽的原因多種多樣,主要包括以下幾個方面:

坩堝質量不佳。坩堝內壁密封面形狀不規則、表面粗糙、有凹凸不平或氣孔,以及坩堝因使用次數過多或加熱方式不當而變形,都可能導致漏矽現象。

加熱和冷卻方式不當。加熱過程過急或過度加溫可能導致坩堝變形或產生氣孔,而降溫過快或使用水冷卻時,尤其是在高溫狀態下,可能引起坩堝溫度驟變,從而產生裂紋導致漏矽。

爐腔密封不良或設備老化。爐腔密封不良可能導致內部氣壓下降,矽揮發和腐蝕,最終導致漏矽。隨著使用時間的增加,設備表面可能出現氧化、疲勞等老化現象,導緻密封不良或其他漏矽問題。

坩堝材料選擇不當或製造工藝不良。如材料純度不高、熱脹冷縮性能不穩定、溫度適應範圍不夠、製造過程中的氣泡、材料收縮率不匹配、部件組裝不良等,都會影響坩堝的密封性能,進而導致漏矽。