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犧牲層是什麼

犧牲層是一種在微機械結構製造過程中使用的技術,它具有以下特點:

結構材料:在下層薄膜上澱積所需的各種特殊結構件,這些結構件可以是多晶硅單晶硅氮化硅、氧化硅或金屬等。

腐蝕作用:使用化學刻蝕劑將此層薄膜腐蝕掉,但不會損傷微結構件。

分離層:由於被去掉的下層薄膜只起分離層作用,因此被稱爲犧牲層。

厚度:犧牲層的厚度約爲1-2μm。

應用:犧牲層技術可以製造出多種活動的微結構,如微型橋懸臂樑懸臂塊等,並且常被用來製作敏感元件和執行元件,如諧振式微型壓力傳感器、諧振式微型陀螺、微型加速度計微型馬達、各種制動器等。

保護作用:多胞犧牲層可以安裝在被保護結構的外表面,當外界發生爆炸或與外界發生強碰撞時,犧牲層可以吸收大量的能量,並確保被保護結構能夠維持在一箇許可應力之下,從而保護了重要的結構不受損壞。

以上就是犧牲層的定義、特點和應用,希望對你有所幫助。