真空泵的工作原理取決於其具體類型，但大多數真空泵利用機械、物理、化學或物理化學方法來抽取氣體，從而在封閉空間中創造真空環境。以下是幾種常見真空泵的工作原理：
微型真空泵。其通過電機驅動的圓周運動，使泵內部的隔膜做往復式運動，壓縮或拉伸泵腔內的空氣，形成真空效應。
液環真空泵。其由帶有多葉片的轉子偏心安裝在泵殼內構成，轉子旋轉時將工作液（如水）拋向泵殼，形成與泵殼同心的液環。液環和轉子葉片之間的容積周期性變化，實現對氣體的壓縮和排放。
旋片泵。其利用旋轉的葉片來壓縮氣體並將其排出。
離心泵。其通過高速旋轉的葉輪產生離心力，使氣體沿徑向運動並被排出。
電子管真空泵。其採用電子技術抽取內部氣體，通過電磁場作用移動氣體分子並排出。
這些真空泵通過不同的機械或物理原理實現氣體的排出，廣泛套用於各種技術和工業領域。