真空隔膜泵的工作原理是利用電機驅動的偏心運動，帶動泵內部的隔膜進行往復式運動，通過這種運動，泵腔內的空氣被壓縮或拉伸，形成壓力差。
具體來說，當隔膜向內移動時，氣閥關閉，氣體被壓縮；而隔膜向外移動時，氣閥打開，壓縮氣體被排出，同時新的空氣被吸入。這個過程不斷循環，實現空氣的連續吸入、壓縮和排出，從而達到產生真空的效果。
此外，隔膜通常由高強度的彈性材料製成，將進氣腔和排氣腔分開，避免氣體直接進入排氣口。泵腔的密封性能良好，有助於從進氣口吸入氣體。隔膜泵適用於吸氣量較小、真空度要求較高的場合，如實驗室、化工、製藥等行業。